[氯化氫]超高純度電子特氣凈化--氯化氫
181 | 2020-06-29 16:21:57
電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關(guān)的太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。由于半導體和微電子技術(shù)向更高性能、更高集成度發(fā)展，對電子特氣的純度提出了越來(lái)越高的要求，電子特氣的的凈化愈加關(guān)鍵和重要。目前國內的超高純度凈化技術(shù)主要依賴(lài)進(jìn)口，自身的技術(shù)水準（6N）與國際先進(jìn)水平(8-9N)有較大差距。本項目將設計和研發(fā)一系列高效、高容量、高選擇性、低成本的新型納米凈化劑，對MO源、惰性氣體、氫化物氣體、反應性氣體、腐蝕性氣體等5個(gè)系列，50多種電子特氣進(jìn)行末端凈化，使電子特氣純度由ppm級提高到ppb、ppt級，并將特氣傳輸和控制系統對氣體純度的影響降至最小，從而極大地改善工藝能力，降低產(chǎn)品缺陷， 提高制程的產(chǎn)量，滿(mǎn)足下一代半導體、微電子以及相關(guān)高技術(shù)發(fā)展的需要。本項目將形成有自主知識產(chǎn)權的超高純度電子特氣凈化技術(shù)，解決超高純度電子特氣凈化這一核心技術(shù)的國產(chǎn)化問(wèn)題。氯化氫