[氯化氫]氯化氫 改良西門(mén)子法—閉環(huán)式三氯氫硅氫還原法

 71  |   2020-06-29 16:22:25
 改良西門(mén)子法是用氯和氫合成氯化氫(或外購氯化氫),氯化氫和產(chǎn)業(yè)硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅,然后對三氯氫硅進(jìn)行分離精餾提純,提純后的三氯氫硅在氫還原爐內進(jìn)行CVD反應生產(chǎn)高純多晶硅。

    國內外現有的多晶硅廠(chǎng)盡大部分采用此法生產(chǎn)電子級與太陽(yáng)能級多晶硅。